特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前,國內共有特種氣體生產企業達150余家,多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。特種氣體應用于國民經濟的很多行業, 它在電子行業、石油化工、醫1藥等各領域發揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發展, 無論在氣體品種上,還是在數量上, 都以的速度發展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。
特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫1藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益于特種氣體的獨特性質,它有助于提高產量、優化性能以及降低成本。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質傳統精餾無法去除,本公司經過多年潛心研究和多項實驗,研發出的多元精餾添加劑打破了雜質共沸而無法除去的技術難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統工藝一次性投資降低 50%。特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。
特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展而發展起來的。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。
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